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实现微米级定位精度和芯片焊接:支持多材料集成 满足微组装产品科研开发和样品研制而设计的,主要用于微组装产品的科研开发和工艺开发。
1.贴装精度为 5um,使用设备自带精度校准工具验证 2.具有自平衡能力的吸嘴 3.支持的芯片大小0125mm*0.125mm -40mm*40mm 4.贴片压力最小支持01N,最大 20N,分辨率0.1N 5.气浮式工作平台支持Z轴移动最大10mm 6工作载台支持的基板大小100mm*100mm 7.配置固定分光镜系统,支持同时在电脑屏幕上实时显示吸头与芯片的重叠图像,无需 PR编程即可完成设备操作 8.基板加热面积(共晶加热模块),基板加热面积50mm*50mm 9.基板加热设定温度400 摄氏度,加热升温速率每秒20 度,风冷冷却 10.支持芯片加热,加热功率80w,最高设定温度400 度,加热升温速率每秒6度