高精度激光植球机
[ 基础信息 ]
生产国家 : 德国
制造厂商 : Pac Tech-Packaging Technologies GmbH
购置日期 : 2023-09-08
规格型号 : PacTech
[ 分类信息 ]
设备类型 : 工艺试验仪器
设备编号 : GS2303530
[ 联系信息 ]
联系人 : 李欣欣
存放地址 : 兴科一街2号
联系邮箱 :
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
无
主要功能及特色 :
用于各种不同的半导体或微电子产品表面焊盘上的植球，可支持最小50um球径，最大可支持12寸晶圆植球。
主要规格及技术指标 :
激光植球机X轴精度：<=+/-3-5um，行程500mm。Y轴精度：<=+/-3-5um，行程500mm。Z轴精度：<=+/2um，行程45mm
